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usdt支付接口(www.trc20.vip):亚氨氨气回用 主打ESG减碳

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亚氨科技氨回用系统产出的电子级氨气含水率低于1ppb,远低于国际电子级特气所规范的50ppb。。图/公司提供

气候变迁加剧,绿色再生能源、产业朝零碳生产刻不容缓,完成全球唯一电子级氨气回用量产实例的亚氨科技,已在中国厦门为LED大厂开发晶,建置全球首座电子级特气回用设备。

亚氨科技表示,半导体厂使用的纯氨回收制程中虽须使用电能而间接产生CO2,但比起直接使用纯氨的CO2产出量减少逾7成,亦即每使用1吨亚氨氨气回用制程产出的氨气,可为全世界减少3吨CO2排放,而达成真正的「净零排」。

亚氨科技指出,将环保法规分类为事业废弃物而须再利用的氨水,不仅转化为化工产品而不再是废弃物,更再纯化为99.99999%的电子级氨气。

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另一项更大应用为晶圆厂的APM清洗晶圆制程中使用电子级氨水,目前已有美商半导体晶圆厂在建置将原先须经高温触媒分解的低浓度氨气予已回收,再制成20%浓度的工业氨水供其他化工产业运用,最终目标为将氨气回收制程使用,成为再生物料。

亚氨表示,该公司的氨气回用系统,将氨水提纯至高纯电子级氨气的COA更达7N等级,制程中废氨气溢散量小于1PPM,制程废水最低可达10PPM,每公斤电子级氨气产出能耗成本不到3度电,不仅达到经济效益、且完全符合循环经济理念,及开创半导体氨气回用的创新领域。

亚氨指出,氨气回用不仅可大幅降低厂商购买纯氨成本,更符合ESG的厂内减废要求,电子级氨气回用系统除了已量产,并回用逾三年的开发晶照明有限公司外,另包括以自有资金投入于2019年6月成功上线的台湾隆达电子。

近年来各主要工业国家特别是欧盟持续大力推动循环经济,亚氨强调,凭借在LED电子级氨气回用上量产,及纯度犹优于国际特气大厂的实绩下,将持续加速推展半导体晶圆厂内回收再制成纯氨气与电子级氨水并回用于制程项目,也跨足显影液回用及CMP废水回收领域,大幅减少废水排放。

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